Inertinės atmosferos krosnys, dar vadinamos anaerobinėmis krosnelėmis, yra skirtos terminiam apdorojimui naudojant neoksiduojančias dujas, tokias kaip azotas, sandarioje aplinkoje, tinka terminiam apdorojimui esant mažos deguonies koncentracijos atmosferai.
Aprašymas
Inert Atmosphere Oven serija naudojama puslaidininkių gamyboje silicio plokštelių, galio arsenido, ličio niobato, stiklo prieš PR dengimą, kietos plėvelės kepimui po PR dengimo ir kepimui aukštoje temperatūroje po ryškinimo; Jis taip pat tinka gamybos ir mokslinių tyrimų skyriams, tokiems kaip elektroninis skystųjų kristalų ekranas, LCD, CMOS, IS ir laboratorijos; jis taip pat gali būti naudojamas nelakių, nedegių ir nesprogių daiktų džiovinimui, terminiam apdorojimui, sendinimui ir kitiems aukštos temperatūros bandymams.
Pagrindiniai parametrai
►Techniniai parametrai
Talpa: pritaikyta pagal gaminius
Temperatūros diapazonas: Aplinkos +50°C ~ 250°C
Deguonies kiekis: ≤50 ppm
Temperatūros tolygumas: ±2,5 %
Padidėjimo greitis: valdomas
Azoto įvadas: Φ8
Azoto srautas: 0-240L/min * 2 kanalai
►Struktūra
. Vidinė orkaitė: Pagaminta iš nerūdijančio plieno ir besiūliai suvirinta argono dujomis.
. Hermetiškai uždaryta: kamera yra sandari, kad sumažintų deguonies lygį.
. Oro įsiurbimo struktūra: leidžia neoksiduojančioms dujoms užpildyti kamerą.
. O2 analizatorius: tiksliai sureguliuokite deguonies lygį tarp 0,5–21 %
► Temperatūros valdymo sistema
Išmanusis JAPAN RKC temperatūros reguliatorius, programos ir fiksuotų verčių nustatymas, AT automatinis derinimas, poslinkio korekcija ir išjungimo išlaikymas.
► Priverstinė oro konvekcija
Patentuotas ortakis karšto oro cirkuliacijos sistemoje gali automatiškai reguliuoti temperatūros vienodumą.
Savybės anaerobinėms (inertinėms) orkaitėms
► Hermetiškai uždaryta nerūdijančio plieno studija, kad būtų išvengta išorinės atmosferos patekimo
► Anaerobiniam terminiam apdorojimui naudokite inertines azoto dujas
► Yra debitmatis ir manometras
► Daugiafunkciniai apsauginiai įtaisai
Parinktys
► PLC+7“ programuojamas valdiklis
► Trijų spalvų mirksinčios šviesos signalas
► Perkaitimo ribotuvas
► Rankiniai saugos įtaisai
Kodėl verta rinktis inertines atmosferos orkaites?
Šiais laikais laidų medžiagos grandinėse perėjo nuo aliuminio prie vario, kurio varža mažesnė. Todėl termiškai apdorojus įprastoje džiovinimo krosnyje varinės dalys gali oksiduotis ir sukelti defektų. Be to, taip pat atliekamas 250 laipsnių C sendinimas, siekiant patikrinti, ar dėl elektromigracijos nebuvo ištrinti duomenys, įrašyti į „flash“ atmintį, ar guzelių dalys nėra oksiduotos, todėl deguonies kiekis turi būti sumažintas iki <100 ppm. Ši anaerobinė orkaitė buvo sukurta taip, kad atitiktų šiuos reikalavimus.
Taikymas
Inertinės atmosferos krosnys daugiausia naudojamos BPO klijams / PI klijams / BCB klijų kietėjimui, IC (vaflių, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, didelio tikslumo elektroniniams komponentams ir kitoms medžiagoms, kuriose yra mažai deguonies, džiovinimo ir senėjimo bandymams. .